特許

J-GLOBAL ID：200903017463998820

ウェーハノッチ位置検出装置

発明者： 今西 顕史 ,  勝見 栄雄 ,  森本 勉 ,  高松 弘行 ,  山本 雄治 ,  綱木 英俊
出願人/特許権者： 株式会社神戸製鋼所 ,  ジェネシス・テクノロジー株式会社
代理人 (1件)： 本庄 武男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-192698
公開番号（公開出願番号）：特開2000-031245
出願日： 1998年07月08日
公開日（公表日）： 2000年01月28日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 ウェーハ表面に損傷を与えることなく,また外乱光等の影響を受けず,常に正確にノッチ位置を検出できるウェハノッチ位置検出装置を提供する。【解決手段】 ウェーハWをそのエッジ部で保持手段1により保持することにより,ウェーハ表面に保持手段1が接触しないため,ウェーハ表面への損傷を防止できる。またウェーハに対向して設置される撮像手段4により,ウェーハ表面の一部または全体の画像を撮像し,該画像に基づいてノッチ位置検出手段5によりノッチ位置を検出する。さらに撮像画像上でウェーハとその背景の明度差を生じる光学的手段が望ましく,例えばウェーハ表面が鏡面の場合,表面反射光が撮像手段4に直射しない位置に照明を設置すると共に,ウェーハ背景部分に光散乱部材2を設けることにより,ウェーハと背景との境界であるウェーハエッジ形状が明瞭に再現され,正確なノッチ位置の検出が可能で,回転機構が不要なため装置が小型化される。

請求項（抜粋）：

ウェーハのエッジ上の一か所に設けられたノッチ位置を検出するウェーハノッチ位置検出装置において,上記ウェーハを,そのエッジ部において保持する保持手段と,上記保持手段で保持された上記ウェーハに対向して設置され,上記ウェーハの表面の一部若しくは全体の画像を撮像する撮像手段と,上記撮像手段によって撮像された上記ウェーハの撮像画像に基づいて,上記ノッチ位置を検出するノッチ位置検出手段とを具備してなることを特徴とするウェーハノッチ位置検出装置。

IPC (2件)：

H01L 21/68 ,  G01B 11/26

FI (3件)：

H01L 21/68 F ,  H01L 21/68 G ,  G01B 11/26 H

Fターム (25件)：

2F065AA03 ,  2F065AA17 ,  2F065AA26 ,  2F065BB01 ,  2F065BB16 ,  2F065BB24 ,  2F065BB25 ,  2F065CC19 ,  2F065DD02 ,  2F065DD03 ,  2F065DD12 ,  2F065FF02 ,  2F065FF04 ,  2F065FF42 ,  2F065GG12 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ01 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ15 ,  2F065JJ26 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ25 ,  5F031GG02 ,  5F031GG04 ,  5F031GG15