特許
J-GLOBAL ID：200903017471572611
圧力検出方法及び圧力検出器
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中野 雅房
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-342594
公開番号（公開出願番号）：特開平7-167724
出願日： 1993年12月13日
公開日（公表日）： 1995年07月04日
要約：
【要約】【目的】 大きな圧力化においても精度よく圧力変化を検出できる差圧式の加速度検出器を提供する。【構成】 ダイアフラム13の上面と補助基板14との間には第1の圧力導入路15が形成され、ダイアフラム13の下面と補助基板14との間には第2の圧力導入路16が形成されている。主基板11の上面には第1の圧力導入室15を外部に連通させるための第1の圧力導入路16が蛇腹状に形成し、主基板11の下面には第2の圧力導入路18を真っ直ぐに形成する。第1の圧力導入室15には第2の圧力導入室16よりも遅れて圧力がかかるので、例えば圧力が増大している場合には、第2の圧力導入室16側の圧力が大きくなってダイアフラム13が変形する。
請求項（抜粋）：
圧力検出部として働く薄板構造体を設け、当該薄板構造体の両面に測定しようとする圧力を時間差を持たせて導き、薄板構造体によって前記測定圧力の圧力変化を検出させるようにしたことを特徴とする圧力検出方法。
IPC (2件)：
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