特許
J-GLOBAL ID：200903017472754276
走査トンネル顕微鏡用探針およびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
池内 寛幸 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-344516
公開番号（公開出願番号）：特開平5-172508
出願日： 1991年12月26日
公開日（公表日）： 1993年07月09日
要約：
【要約】【目的】 導電性線材の先端部に酸化亜鉛ウィスカの針状単結晶を固着することにより、先端曲率が小さく、アスペクト比の大きい探針を提供する。【構成】 先端部を軽く電解エッチングしたタングステン線1の先端部に、正四面体の体心から四頂点に延びたテトラポッド形状の酸化亜鉛ウィスカ2を固着して探針とする。または結晶核や結晶途中のウィスカを固着した後、酸化亜鉛ウィスカの針状単結晶を成長させる方法を採用しても良い。
請求項（抜粋）：
導電性線材の先端部に尖鋭化部を有する走査トンネル顕微鏡用探針であって、前記探針は少なくとも先端部が酸化亜鉛ウィスカで形成されていることを特徴とする走査トンネル顕微鏡用探針。
IPC (3件)：
G01B 7/34
, H01J 9/14
, H01J 37/28
