インクジェットヘッドの製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-056652
公開番号（公開出願番号）：特開2000-246905
出願日： 1999年03月04日
公開日（公表日）： 2000年09月12日
要約：

【要約】【課題】チャンバ、流路の形成方法、すなわち、インクジェットヘッド構成部材の接着工程を改良することにより、簡便で低コストなインクジェットヘッド製造方法を提供する。【解決手段】構成部材の接着工程において、接着層の不必要な部分をエキシマレーザーで除去することにより、接着層をパターニングする。

請求項（抜粋）：

インクを導入する流路と連結し、隔壁によって区切られたチャンバを、ノズルを有するオリフィスプレートと、振動板を有するダイヤフラムプレートとで密封し、このダイヤフラムプレート上に設置された圧電素子を駆動することにより、前記チャンバに圧力を加え、前記ノズルよりインク滴を吐出するインクジェットヘッドを製造する方法であって、前記チャンバ及び流路を複数のパターニングされたプレートの積層、接着により形成する際に、接着層の不要部分をレーザ加工により除去するようにしたことを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。

Fターム (7件)：

2C057AF23 , 2C057AF93 , 2C057AG44 , 2C057AP02 , 2C057AP14 , 2C057AP23 , 2C057AP25

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