特許

J-GLOBAL ID：200903017478106861

高周波プラズマ発生装置用電源

発明者： 伊藤 洋司 ,  金田一 要三
出願人/特許権者： 日本電子株式会社
代理人 (1件)： 井島 藤治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-311650
公開番号（公開出願番号）：特開平8-167500
出願日： 1994年12月15日
公開日（公表日）： 1996年06月25日
要約：

【要約】【目的】 アーク放電の発生後にアーク放電を速やかに抑制し、アーク放電の消去後は直ちにプラズマ装置の運転を可能とする高周波プラズマ装置の電源を実現する。【構成】 負荷に供給される高周波電力の反射電力を検出し、その検出信号を微分回路11で微分し、微分信号強度を比較回路12で比較してアーク放電の発生を検出する。アーク放電が発生した場合、パルスモード回路13によってパルス信号を発生させ、このパルス信号に基づくパルス高周波電力を負荷に供給してアーク放電を消去する。

請求項（抜粋）：

高周波プラズマ発生装置内におけるアーク放電の発生を検出する手段を設け、アーク放電の発生が検出された場合に、パルス状の高周波を高周波プラズマ発生装置に供給するように構成した高周波プラズマ発生装置用電源。