成分計測装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-184148
公開番号（公開出願番号）：特開2000-019113
出願日： 1998年06月30日
公開日（公表日）： 2000年01月21日
要約：

【要約】【課題】粒子の成分分析を迅速かつ精確に行なう成分計測装置を提供すること。【解決手段】レーザ光を照射された被測定対象が(5)発生したプラズマ光を分光器7に入射し、この分光器7が発生したスペクトル光の波長を基に前記被測定対象(5)の成分に係る計測を行なう成分計測装置において、前記被測定対象(5)から前記分光器7までの経路を、測定に要する波長近傍の光を吸収しない性質を有する気体でパージした。

請求項（抜粋）：

レーザ光を照射された被測定対象が発生したプラズマ光を分光器に入射し、この分光器が発生したスペクトル光の波長を基に前記被測定対象の成分に係る計測を行なう成分計測装置において、前記被測定対象から前記分光器までの経路を、測定に要する波長近傍の光を吸収しない性質を有する気体でパージしたことを特徴とする成分計測装置。

Fターム (19件)：

2G043AA01 , 2G043BA11 , 2G043CA06 , 2G043EA10 , 2G043FA05 , 2G043GA04 , 2G043GB03 , 2G043GB09 , 2G043GB17 , 2G043GB28 , 2G043HA01 , 2G043HA09 , 2G043JA01 , 2G043KA05 , 2G043KA09 , 2G043LA03 , 2G043MA01 , 2G043NA01 , 2G043NA05

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開昭58-219438
特開昭57-119241
特開平4-366749

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