カンチレバー型アクチユエータ及びそれを用いた走査型トンネル電子顕微鏡と情報処理装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：豊田善雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-240227
公開番号（公開出願番号）：特開平5-052507
出願日： 1991年08月28日
公開日（公表日）： 1993年03月02日
要約：

【要約】【目的】逆圧電効果を利用したカンチレバー型アクチュエータを構成する、基板となる弾性体と圧電体層との熱膨張係数の違い等により、カンチレバー部の反り等を防止することにある。【構成】薄膜圧電体と薄膜電極とを積層したカンチレバー型アクチュエータにおいて、上下の電極2,4に挟まれた圧電体層が膜厚方向に電気抵抗率の異る2つの層3a,3bより構成されているカンチレバー型アクチュエータを特徴とする。

請求項（抜粋）：

薄膜圧電体と薄膜電極とを積層したカンチレバー型アクチュエータにおいて、上下の電極に挟まれた圧電体層が膜厚方向に電気抵抗率の異る2つの層より構成されていることを特徴とするカンチレバー型アクチュエータ。

IPC (3件)：

G01B 7/34 , G11B 9/00 , H01L 41/09

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平3-114400
特表平3-503463
特開平3-114400

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