特許

J-GLOBAL ID：200903017496835587

装置およびそれを用いた分析方法

発明者： 松延 剛
出願人/特許権者： 株式会社東レリサーチセンター
代理人 (1件)： 佐藤 謙二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-248194
公開番号（公開出願番号）：特開2004-085416
出願日： 2002年08月28日
公開日（公表日）： 2004年03月18日
要約：

【課題】多層構成を持つ試料の各層ごとの発光データや層欠陥等のデータを正確かつ効率的に得られる装置を提供すること。【解決手段】少なくとも2種類の光を、同時または異なるタイミングで試料に照射し、該試料から放出される発光を測定する装置。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

少なくとも2種類の光を、同時または異なるタイミングで試料に照射し、該試料から放出される発光を測定する装置。

IPC (3件)：

G01N21/64 ,  G01M11/00 ,  G01N21/88

FI (4件)：

G01N21/64 Z ,  G01M11/00 T ,  G01N21/88 K ,  G01N21/88 Z

Fターム (19件)：

2G043AA03 ,  2G043CA09 ,  2G043EA01 ,  2G043GA06 ,  2G043GB01 ,  2G043GB21 ,  2G043JA01 ,  2G043JA08 ,  2G043LA01 ,  2G043NA04 ,  2G051AA90 ,  2G051AB06 ,  2G051BA08 ,  2G051BC01 ,  2G051CA01 ,  2G051CB01 ,  2G051CB02 ,  2G051EA02 ,  2G086EE03