特許

J-GLOBAL ID：200903017498842904

クリーン度の高い検査装置

発明者： 藤原 馨 ,  久慈 基弘
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 小原 肇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-338231
公開番号（公開出願番号）：特開平9-153531
出願日： 1995年11月30日
公開日（公表日）： 1997年06月10日
要約：

【要約】【課題】 従来の検査装置の場合には、装置本体内に空気を送風してもウエハチャックとその上方でプローブカードが固定されたヘッドプレートを含む天板との間の隙間が狭く、この隙間に気流を十分に通すことができずウエハチャックに付着したパーティクルを除去できない。【解決手段】 本検査装置は、半導体ウエハ1を収納する収納空間2と、この収納空間2の半導体ウエハ1を搬送するピンセット3と、このピンセット3により搬送された半導体ウエハ1を載置するウエハチャック5と、このウエハチャック5上の半導体ウエハ1と接触してその電気的検査を行う接触子とを装置本体7内に備え、ウエハチャック5に、その表面に向けて送風する送風手段51を設けたことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

被処理体を収納する収納部と、この収納部の被処理体を搬送する搬送機構と、この搬送機構により搬送された被処理体を載置する載置台と、この載置台上の被処理体と接触してその電気的検査を行う接触子とを装置本体内に備えた検査装置において、上記載置台に、その表面に向けて送風する送風手段を設けたことを特徴とする検査装置。

IPC (5件)：

H01L 21/66 ,  F24F 7/06 ,  G01R 31/26 ,  H01L 21/304 341 ,  H01L 21/68

FI (6件)：

H01L 21/66 H ,  H01L 21/66 D ,  F24F 7/06 C ,  G01R 31/26 Z ,  H01L 21/304 341 G ,  H01L 21/68 A