特許

J-GLOBAL ID：200903017499481280

超小型バルブ

発明者： ギャリー・ビー・ゴードン ,  フィリップ・ダブリュー・バース
出願人/特許権者： ヒューレット・パッカード・カンパニー
代理人 (1件)： 長谷川 次男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-143221
公開番号（公開出願番号）：特開平5-187574
出願日： 1992年05月08日
公開日（公表日）： 1993年07月27日
要約：

【要約】【目的】微量調整が可能で、効率的な超小型バルブ。【構成】本発明は、放射状に間隔のあいた層構成でクモ状の脚部を有し、各脚部は実質的に熱膨張係数の異なる材料からなる第1及び第2の層を有する。脚部はさらに加熱素子を含み、一方の端部で固定され、脚部を選択的に加熱することでたわみが生じ、放射状のコンプライアンスを提供する。各脚部の下層には、バルブ表面と位置合わせされた流体オリフィスを有する半導体基板がある。脚部の湾曲によって流体オリフィスに関係してバルブ表面を変位させ、オリフィスを通って流体流を制御する。

請求項（抜粋）：

その中を貫通する流体オリフィスを備える弁座基板と、前記弁座基板と連結し、前記流体オリフィスを選択的に遮断するたわみ部材と、前記たわみ部材は前記流体オリフィスと一致する中央フラップと前記中央フラップから周辺領域に伸びる複数の間隔のあいた層領域を有し、前記層領域の第1及び第2の層は実質的に異なる熱膨張係数を有し、前記層領域と熱的に連結し、前記第1及び第2の層の異なる熱膨張によって前記層領域を湾曲させ、前記流体オフィリスに関連して前記中央フラップに変位を生じさせる加熱手段とからなることを特徴とする超小型バルブ。