特許
J-GLOBAL ID：200903017500127754
窒化アルミニウム薄膜の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岡田 英彦 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-115483
公開番号（公開出願番号）：特開平7-316809
出願日： 1994年05月27日
公開日（公表日）： 1995年12月05日
要約：
【要約】【目的】低温で結晶性の良好な窒化アルミニウム薄膜を形成できる方法を提供する。【構成】基板22上にスパッタリング法により窒化アルミニウム薄膜を製造する方法において、この薄膜の製造に先立つスパッタリング室4内の真空排気処理において、スパッタリング室4内の水蒸気分圧をモニタする。
請求項（抜粋）：
基板上にスパッタリング法により窒化アルミニウム薄膜を製造する方法において、この薄膜の製造に先立つスパッタリング室内の真空排気処理において、スパッタリング室内の水蒸気分圧をモニタすることを特徴とする窒化アルミニウム薄膜の製造方法。
IPC (2件)：
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