特許
J-GLOBAL ID：200903017501592779
透明体の内部検査方法および内部検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
國分 孝悦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-355467
公開番号（公開出願番号）：特開平11-183152
出願日： 1997年12月24日
公開日（公表日）： 1999年07月09日
要約：
【要約】【課題】 透明体内部の欠陥の深さ、大きさを自動的に測定することのできる透明体の内部検査方法および内部検査装置を提供する。【解決手段】 位置関係を固定した光源102と光検出機構108と、光源102および光検出機構108に対して相対移動可能に被測定物101を支持する被測定物支持機構109と、光源102および光検出機構108との間で光路を形成するために被測定物101の端部の所定部位に設けた反射手段104,107と、を備える。光源102から出射した検査光を被測定物101の端面から入射させ、光源102および光検出機構108と被測定物101との相対位置を変えることで、検査光が被測定物101の内部を走査し、被測定物101内部の欠陥の深さ、大きさを測定する。
請求項（抜粋）：
光源および光検出機構の位置関係を固定し、前記光源から出射した検査光を前記被測定物の端面から入射させ、前記光源および前記光検出機構と被測定物との相対位置を変えることで、前記検査光が前記被測定物の内部を走査し、前記被測定物からの検査光が前記光検出機構に向かうことにより、前記被測定物内部の欠陥の深さ、大きさを測定するようにしたことを特徴とする透明体の内部検査方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01B 11/30 H
, G01N 21/89 D
