特許
J-GLOBAL ID：200903017502868590
試料容器および試料搬送方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
永井 冬紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-096545
公開番号（公開出願番号）：特開平9-283611
出願日： 1996年04月18日
公開日（公表日）： 1997年10月31日
要約：
【要約】【課題】 真空排気に伴う試料温度低下を防ぐとともに、試料をダストの汚染から防止する。【解決手段】 マスク100を真空状態に保持して収容する収容室2aと、マスク100を収容室2aに装填し、収容室2aから取り出すために開閉する蓋4と、バルブ7とを備え、収容室2aを真空排気して外部と遮断することによって収容室2aを真空に保持することができる。その結果、試料容器1aの収容室2aに収納されたマスク100はダスト等による汚染から防止されるとともに、試料容器1aからマスク100への熱伝達を低減することができ、マスク100の温度変化を抑えることができる。
請求項（抜粋）：
ウエハやマスク等の試料を真空状態に保持して収容する収容室と、前記試料を前記収容室に装填し、前記収容室から取り出すために開閉する蓋と、前記収容室を真空排気して外部と遮断するとともに、前記収容室を大気に連通するバルブとを備えることを特徴とする試料容器。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B65D 85/86
, H01L 21/027
H01L 21/68 T
, B65D 85/38 R
, H01L 21/30 541 L
