特許

J-GLOBAL ID：200903017503140409

半導体製造管理システム

発明者： 田上 僚一
出願人/特許権者： 宮崎沖電気株式会社 ,  沖電気工業株式会社
代理人 (1件)： 船橋 国則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-273758
公開番号（公開出願番号）：特開平6-097019
出願日： 1992年09月16日
公開日（公表日）： 1994年04月08日
要約：

【要約】【目的】 本発明は、ロット待ちによる無駄時間をなくして、主処理装置に、常にロットが仕掛かるようにすることで、生産性の向上を図る。【構成】 半導体製造管理システム1の搬送コントローラ20で、各ロットごとに、準備処理後のロットに品質劣化が起きない限界の最早出庫予定時刻から主処理装置11でロット待ちによる空き時間を生じない限界の最遅出庫予定時刻までの間で、処理可能な準備処理装置の稼働率が現工程の準備処理装置の稼働率よりも大きい場合には、搬送装置17によって、倉庫13よりロットを出庫して準備処理装置12に搬送する。また処理可能な準備処理装置の稼働率が現工程の準備処理装置の稼働率以下の場合には、処理可能な準備処理装置の稼働率が現工程の準備処理装置の稼働率よりも大きくなるまで、一定間隔で最遅出庫予定時刻になるまで準備処理装置の稼働率の計算を繰り返し行う。

請求項（抜粋）：

半導体生産におけるウエハプロセスでのロットに対して付加価値を創出する処理を行う複数または単数の主処理装置と、前記主処理装置で処理を行う前のウエハに準備処理を行う複数または単数の準備処理装置と、工程待ちのロットを保管する倉庫と、前記倉庫と前記各主処理装置と前記各準備処理装置とを接続する搬送路と、当該搬送路に沿って移動してロットを搬送する複数または単数の搬送車とよりなる搬送装置と、前記各準備処理装置と前記倉庫と前記各搬送車と前記各主処理装置とを制御する搬送装置コントローラとよりなるものであって、前記搬送コントローラによって、各ロットについて、前記主処理装置の処理終了予定時刻より準備処理装置の処理時間と搬送時間とを差し引いて、前記主処理装置でロット待ちによる空き時間が起きない限界の時刻の最遅出庫予定時刻を求めるとともに、前記主処理装置の処理終了予定時刻より前記準備処理装置の処理時間と搬送時間と出庫オフセット時間とを差し引いて、準備処理後のロットに品質劣化が起きない限界の時刻の最早出庫予定時刻を求め、前記最早出庫予定時刻から前記最遅出庫予定時刻までの間で、処理可能な準備処理装置の稼働率が現工程の準備処理装置の稼働率よりも大きい場合には、前記搬送装置によって、当該ロットを前記倉庫より出庫して前記準備処理装置に搬送し、前記最早出庫予定時刻から前記最遅出庫予定時刻までの間で、処理可能な準備処理装置の稼働率が現工程の準備処理装置の稼働率以下の場合には、処理可能な準備処理装置の稼働率が現工程の準備処理装置の稼働率よりも大きくなるまで、最遅出庫予定時刻まで準備処理装置の稼働率の計算を一定間隔で繰り返し行うことを特徴とする半導体製造管理システム。