特許

J-GLOBAL ID：200903017504328207

減圧貼付け装置

発明者： 長手 弘
出願人/特許権者： 富士写真フイルム株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-274639
公開番号（公開出願番号）：特開平7-125071
出願日： 1993年11月02日
公開日（公表日）： 1995年05月16日
要約：

【要約】【目的】 微細な凹凸パターン基板上に感光層付きフィルムを貼り付ける時に、微細な気泡の巻き込みのない減圧貼り付け装置を提供する。【構成】 減圧槽を弾性体の隔壁で2室に分離し、1室にシート基板と貼付けフィルムを設置して減圧し、もう1室を大気圧以上に加圧して、隔壁の弾性変形により貼付けフィルムをシート基板に貼り付ける装置において、弾性体隔壁を加熱する手段、及びシート基板と貼付けフィルムを、減圧前は接触しないように保持し、減圧後に接触させる手段を具備している。

請求項（抜粋）：

減圧槽を弾性体の隔壁で2室に分離し、1室にシート基板と貼付けフィルムを設置して減圧し、もう1室を大気圧以上に加圧して、隔壁の弾性変形により貼付けフィルムをシート基板に貼り付ける装置において、弾性体隔壁を加熱する手段を具備したことを特徴とする減圧貼付け装置。

IPC (4件)：

B29C 65/02 ,  B29C 65/78 ,  H05K 3/28 ,  B29L 9:00