特許
J-GLOBAL ID：200903017506144758
弾性表面波共振片、弾性表面波共振子の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 喜三郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-099030
公開番号（公開出願番号）：特開平11-330882
出願日： 1995年02月28日
公開日（公表日）： 1999年11月30日
要約：
【要約】【課題】 ハウジング内の遺物によるトラブルを防止すると共に、共振周波数の調整が可能な、SAWデバイスを製造すること。【解決手段】 弾性表面波共振子を製造するにあたって、IDTを構成する電極を陽極酸化することによって厚い酸化膜を形成し、この酸化膜によって特性を劣化させることなく電極を保護できる。そして、ウエハの状態で共振周波数を測定し、陽極酸化電圧値を変化させることで酸化膜の厚みを調整し、この結果共振周波数fを調整することができる。
請求項（抜粋）：
圧電体の表面に形成された交差指電極に通電して陽極酸化を行う第1の工程と、前記交差指電極によって励振される弾性表面波の共振周波数を測定する第2の工程とを有し、前記第1および第2の工程を交互に行って前記共振周波数を所望の値に合わせ込むことを特徴とする弾性表面波共振片の製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
審査官引用 (2件)
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特開昭55-143813
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特開昭52-099742
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