電子線露光装置用データの検証方法およびその検証装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：京本直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-166235
公開番号（公開出願番号）：特開2001-344302
出願日： 2000年06月02日
公開日（公表日）： 2001年12月14日
要約：

【要約】【課題】電子線露光装置における、CADデータを変換したEB用データが元のCADデータと相違ないかどうかを正確に効率的に検証する。【解決手段】電子線露光装置の、LSI設計データ(CADデータ)21とそのデータ変換後のEBデータ22との間で、排他的論理和(exor)演算を行う第1の工程と、第1の工程で出力されたデータとCADデータ21との間で論理積(and)演算を行う第2の工程と、第2の工程の出力から図形数が0かどうかを判断する第3の工程から構成され、図形数が0でない時、データ変換時に変換エラー24があったかどうかを効率的に判断するように動作する。

請求項（抜粋）：

電子ビームをレジスト上に照射することにより、微細パターンを形成する電子線露光方式に用いるパターンデータの検証方法において、LSI設計データとなるCADデータと、このCADデータをデータ変換した後のEBデータとの間で、互に重なり合わない部分データを抽出する第1の工程と、この第1の工程で出力されたデータと前記CADデータとの間で互に重なり合った部分データを抽出する第2の工程と、この第2の工程で出力されたデータの有無を判断する第3の工程とから構成され、この第3の工程の出力データが有った時に、前記データ変換時に変換エラーがあると判断することを特徴とする電子線露光装置用データの検証方法。

IPC (2件)：

G06F 17/50 666 , H01L 21/027

FI (2件)：

G06F 17/50 666 C , H01L 21/30 541 Z

Fターム (7件)：

5B046AA08 , 5B046BA05 , 5B046CA04 , 5B046JA02 , 5F056AA06 , 5F056CA01 , 5F056CA28

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