特許

J-GLOBAL ID：200903017513335496

炭化ケイ素部品の結合方法

発明者： ジテンドラ エス.ゴエラ ,  リー イー.バーンズ
出願人/特許権者： シーブイディー,インコーポレイティド
代理人 (1件)： 石田 敬 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-115876
公開番号（公開出願番号）：特開平10-087376
出願日： 1997年05月06日
公開日（公表日）： 1998年04月07日
要約：

【要約】【課題】 第一の炭化ケイ素部品を第二の炭化ケイ素部品に結合させる方法を提供する。【解決手段】 受け入れ用の雌の接合部材を提供する第一の部品と挿入用の雄の接合部材を提供する第二の部品はおのおの、雄部材を雌部材に挿入する方向に対し実質的に平行な向き合う側壁を有し、これらの側壁の間に最大で約0.003インチ(0.76mm)までの平均の間隙をもたらすように形作られ、雌部材は更に、それに雄部材を挿入したときにケイ素を収容するためのリザーバ手段を有する。リザーバ手段に固体状態のケイ素を詰め、雄部材を雌部材に挿入し、第一及び第二の部品をケイ素の融点より高く加熱して、融解したケイ素を上記間隙に毛細管作用により引き入れ、その後冷却して凝固したケイ素により両部材間の接合を確保する。

請求項（抜粋）：

第一の炭化ケイ素部品を第二の炭化ケイ素部品に結合する方法であって、第一の炭化ケイ素部品に受け入れ用の雌の接合部材を備えつけること、第二の炭化ケイ素部品に挿入用の雄の接合部材を備えつけること、上記雄の接合部材と上記雌の接合部材はおのおの、当該雄の接合部材を当該雌の接合部材へ挿入しようとする方向に対し実質的に平行な向き合う側壁を有し、また当該雄の接合部材と当該雌の接合部材は、当該雄の接合部材を当該雌の接合部材に挿入したときに上記向き合う側壁の間に平均して最大で約0.003インチ(0.76mm)までの間隙をもたらすように形作られていること、上記雌の接合部材は更に、当該雌の接合部材へ上記雄の接合部材を十分挿入するのを可能にしながら固体状態のケイ素を受け入れるためのリザーバ手段を有し、このリザーバ手段は当該雄の接合部材を当該雌の接合部材へ挿入するときに形成される上記間隙と流体で連通し合うようにされていること、上記リザーバ手段に固体状態のケイ素を供給すること、上記雄の接合部材を上記雌の接合部材へ挿入すること、上記第一及び第二の炭化ケイ素部品をケイ素が融解するのに十分な時間ケイ素の融点より高く加熱して、融解したケイ素及び/又はケイ素蒸気が上記雄の接合部材と雌の接合部材の上記向き合う側壁の間の上記間隙に入り込むこと、そしてその後、上記第一及び第二の部品を冷却してケイ素を凝固させ、それにより、上記雄の接合部材と雌の接合部材の上記向き合う側壁の間の結合を形成する凝固したケイ素で当該雄の接合部材と雌の接合部材との接合を確保すること、を含む炭化ケイ素部品の結合方法。

IPC (2件)：

C04B 37/00 ,  H01L 21/68

FI (2件)：

C04B 37/00 A ,  H01L 21/68 N

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭63-095171
  
• 特開昭63-098123
  
• 特開昭58-217474