製造情報管理システム

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：半田昌男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-333176
公開番号（公開出願番号）：特開2001-155979
出願日： 1999年11月24日
公開日（公表日）： 2001年06月08日
要約：

【要約】【課題】製造プロセスの解析等に必要なデータを画像データを含めて管理することができると共に、かかるデータについて容易に検索することができる製造情報管理システムを提供する。【解決手段】各検査・撮像システム20は、各製品について検査を行うと共に、各製品についての画像データを取得する。また、各検査・撮像システム20では、画像データに基づいて欠陥が発生していると判断されたときに欠陥データが入力される。データベース12には、各検査・撮像システム20毎に作成された各製品についての製造データが、製品識別情報と関連付けられて記憶される。データベース13には、各画像データが製品識別情報及び画像識別情報と関連付けて記憶され、データベース14には、各欠陥データが画像識別情報と関連付けて記憶される。ホストコンピュータ11はこれらの各データを管理する。

請求項（抜粋）：

製品の製造ライン上に設けられた、各製品について所定の検査を行うことにより検査データを取得する複数の検査手段と、前記各検査手段毎に設けられた、当該検査手段で検査された製品についての画像データを取得する撮像手段と、前記検査データ及び前記画像データを一時記憶すると共に、画面上に表示された前記画像データに基づいて欠陥が発生していると判断されたときにその欠陥の内容に関する欠陥データを取得するための一又は複数のコンピュータ端末と、前記各検査手段毎に作成され且つ各製品について当該製品の製造工程及び製造レシピに関する情報と当該検査手段で得られた当該製品についての前記検査データとを含む製造データを、各製品を識別するための製品識別情報と関連付けて記憶する製造データ用データベースと、前記各画像データを、各画像データを識別するための画像識別情報及び前記製品識別情報と関連付けて記憶する画像データ用データベースと、前記各欠陥データを前記画像識別情報と関連付けて記憶する欠陥データ用データベースと、前記各コンピュータ端末とデータの送受信を行うと共に、前記製造データ、前記画像データ及び前記欠陥データを管理する管理用コンピュータと、を具備することを特徴とする製造情報管理システム。

IPC (5件)：

H01L 21/02 , G01B 11/30 , G01N 21/88 , G06F 17/60 , G06F 17/30

FI (5件)：

H01L 21/02 Z , G01B 11/30 A , G01N 21/88 J , G06F 15/21 R , G06F 15/40 370 Z

Fターム (34件)：

2F065AA49 , 2F065BB02 , 2F065CC19 , 2F065JJ05 , 2F065QQ00 , 2F065QQ24 , 2F065SS04 , 2F065SS13 , 2G051AA51 , 2G051AB02 , 2G051EA12 , 2G051EA14 , 2G051EA21 , 5B049AA02 , 5B049BB07 , 5B049CC23 , 5B049DD05 , 5B049EE05 , 5B049EE07 , 5B049EE56 , 5B049FF09 , 5B049GG04 , 5B049GG07 , 5B075KK07 , 5B075ND06 , 5B075ND24 , 5B075NK02 , 5B075PP02 , 5B075PP03 , 5B075PP12 , 5B075PP28 , 5B075PQ02 , 5B075PQ32 , 5B075UU40

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