特許
J-GLOBAL ID：200903017524150897
走査電子顕微鏡
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
井島 藤治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-022189
公開番号（公開出願番号）：特開平6-236746
出願日： 1993年02月10日
公開日（公表日）： 1994年08月23日
要約：
【要約】【目的】 凹凸の大きな試料でも、自然な立体感のある反射電子像を得ることができる走査電子顕微鏡を実現する。【構成】 一対の検出器6,7の出力信号は、それぞれ増幅器15,16に供給される。増幅器15はスイッチ17をオン,オフすることによりその増幅率が変化できるように構成されており、また、増幅器16はスイッチ18をオン,オフすることによりその増幅率が変化できるように構成されている。ここで、増幅器15,16のスイッチ17,18のいずれかをオンとし、他方をオフとする状態とすれば、増幅器15,16の増幅率がアンバランスとなり、この両増幅器15,16の出力信号を演算回路9で加算処理を行い、加算信号を陰極線管11に供給すれば、自然な立体感のある像を表示することができる。
請求項（抜粋）：
電子ビームを試料上に細く集束すると共に試料上で電子ビームを2次元的に走査し、試料から得られた信号を検出し、検出信号に基づいて試料の走査像を得るようにした走査電子顕微鏡において、電子ビームの光軸にほぼ対照的に配置された一対の反射電子検出器と、一対の反射電子検出器のそれぞれに接続された増幅器と、2種の増幅器の増幅度を一致させた状態と相違させた状態とを切換える切換え手段と、2種の増幅器の出力信号を加算あるいは減算する演算手段と、演算手段の出力に基づいて試料の反射電子像を表示する表示手段とを備えた走査電子顕微鏡。
IPC (2件)：
引用特許：
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