特許
J-GLOBAL ID:200903017524444637
光学測定装置
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
長谷川 次男
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-170988
公開番号(公開出願番号):特開平6-050882
出願日: 1993年06月17日
公開日(公表日): 1994年02月25日
要約:
【要約】【目的】アライメント誤差が生じない、測定器の構成素子を動かさずに電磁放射ビームの入射角を変化せることが可能な光学測定装置。【構成】本発明は、表面素励起共振(表面プラズモン共振、SPR)装置に適しており、ここではSPR表面に対して垂直な方向で電磁放射ビームが生成される。そして、ビームを偏向し、選択可能な入射角でSPR表面へ供給する。さまざまな角度の入射に対応したSPR表面で反射したビームを、前記SPR表面に対して垂直な方向で検出器へ向けて、偏向または回転する。これにより、放射源、検出器、SPR表面んは相対的な位置に固定することができ、より安定な構成の装置を得ることができる。
請求項(抜粋):
反射表面を備える試験ブロックと、前記第1の線に沿って電磁放射のビームを供給する検出器と、前記ビームを前記反射表面に選択可能な角度で入射させ並進および回転させ、前記入射ビームが前記反射表面で反射したビームを第2の線に沿って前記検出器に向けて並進よび回転させる手段を含み、前記ブロック、前記放射源及び前記検出器の移動なしに前記入射角度が選択可能であることを特徴とする光学測定装置。
IPC (2件):
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