特許
J-GLOBAL ID：200903017530495308
赤外線式ガス分析装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐藤 隆久 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-253372
公開番号（公開出願番号）：特開平8-122251
出願日： 1994年10月19日
公開日（公表日）： 1996年05月17日
要約：
【要約】【目的】 小型化しても分析精度が高く、かつ分析応答性の良い赤外線式ガス分析装置を提供する。【構成】 赤外線式ガス分析装置において、検出器を2枚の加工されたシリコン製基板の接合体により形成し、この接合面部に測定対象ガスを封入した2つの検出室を設ける。検出器の2つの検出室にそれぞれシリコン製圧力センサーを構成する。検出器において2つの検出室の間を結ぶ導管を設け、この一部に熱線素子を構成しても良い。
請求項（抜粋）：
赤外線式ガス分析装置において、検出器を2枚の加工されたシリコン製基板の接合体により形成し、この接合面部に測定対象ガスを封入した2つの検出室を設けたことを特徴とする赤外線式ガス分析装置。
IPC (3件)：
G01N 21/37
, G01L 9/04 101
, G01N 21/61
