特許
J-GLOBAL ID：200903017535589912
イオンビーム中性化装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高橋 明夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-033787
公開番号（公開出願番号）：特開平5-234562
出願日： 1992年02月21日
公開日（公表日）： 1993年09月10日
要約：
【要約】【目的】 2次電子放出電極やフィラメントを用いることなく十分に低エネルギーのプラズマや電子を供給でき、さらにターゲットやイオンビーム等の汚染を抑止できるメンテナンスフリーのイオンビーム中性化装置を提供する。【構成】 磁場を配したマイクロ波放電室内にソースガスを導入してマイクロ波放電によりプラズマを生成し、プラズマまたはプラズマ内の電子をイオンビーム側に導いてイオンビームを中和する。また、ファラデーケージを組合せてイオンビーム電流を正確に計測し、試料ディスク電流、またはワークの帯電電位をマイクロ波電源にフィードバックしてイオンビームを自動的に完全に中和する。さらに、プラズマ源の放電室から生ガスを排気して、ワ-クが生ガスにより汚染されることを防止する
請求項（抜粋）：
イオンビーム装置のイオンビーム中性化装置において、マイクロ波放電によりソ-スガスをプラズマ化するプラズマ発生源と、上記プラズマ発生源のプラズマを上記イオンビーム装置に供給する手段とを備えたことを特徴とするイオンビーム中性化装置。
IPC (4件)：
H01J 37/317
, C23C 14/48
, H01J 37/08
, H01L 21/265
