特許
J-GLOBAL ID：200903017539197628
微細ボール搭載装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
志賀 正武 (外11名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-355774
公開番号（公開出願番号）：特開平11-186311
出願日： 1997年12月24日
公開日（公表日）： 1999年07月09日
要約：
【要約】【課題】 吸着治具の吸着孔へ、微細ボールを効率よくかつばらつきなく吸着させる。【解決手段】 吸着治具2の吸着孔と略同一位置に、微細ボールを保持させる配列孔が形成された配列治具22を有するボール供給部14を設ける。配列治具22上に、超音波振動する超音波振動体18と、超音波振動体18に対して間隔をあけて平行に設けられた反射板19とからなり、超音波振動体18と反射板19との間に定在波を発生させて微細ボールを帯状に集束させた状態にて配列治具22上を平行移動させるボール分配部24を設ける。ボール供給部14に、吸引装置A16あるいは圧縮空気源15のいずれかを切換弁17によって接続させる。吸引装置A16をボール供給部14に接続させた状態にて、ボール分配部24を配列治具22上にて移動させ、微細ボールを配列治具22のそれぞれの配列孔へ吸引させて保持させる。
請求項（抜粋）：
バンプとなる微細ボールを吸着し、吸着した微細ボールをワークへ搭載させる微細ボール搭載装置であって、複数の吸着孔が形成された吸着治具を有し、吸引手段によって前記吸着孔に前記微細ボールを吸着させる吸着ヘッドと、前記微細ボールが保持される複数の配列孔が形成された配列治具を有し、該配列治具の配列孔に保持させた微細ボールを前記吸着治具の吸着孔へ供給するボール供給手段と、前記配列治具上を相対移動してこの配列治具に形成された前記配列孔へ前記微細ボールを保持させるべく分配するボール分配手段とを具備してなり、該ボール分配手段は、前記配列治具の上方に配置され超音波振動を発生させる超音波振動体と、該超音波振動体に対して間隔をあけて略平行に配置された反射板とを有し、前記超音波振動体の振動により前記反射板との間に定在波を発生させ、この定在波により前記微細ボールを帯状に集束させた状態にて、前記配列治具上を移動して、前記配列孔へ前記微細ボールを分配することを特徴とする微細ボール搭載装置。
FI (2件)：
H01L 21/92 604 H
, H01L 21/92 604 Z
