走査型電子顕微鏡および類似装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小川勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-168959
公開番号（公開出願番号）：特開平10-021864
出願日： 1996年06月28日
公開日（公表日）： 1998年01月23日
要約：

【要約】【課題】マウスなどのポインティング装置で操作をするようにしたとき、操作手段が一つだけなので、機能の切換えを必要とし、複数の操作を繰り返し行う場合に非常にわずらわしい操作になる。【解決手段】操作のときにいつも観察している画像の上で、その位置により、機能が変化するようにする。【効果】切換え操作が不要で、操作性がよく、迅速な操作が実現する。

請求項（抜粋）：

粒子線を試料表面に照射,走査し、該試料表面より発生する二次電子線その他の信号を検出して画像を生成し、これを陰極線管等の画像表示装置上の画像表示領域に表示する機能を備え、前記画像表示装置はマウス等のポインティング装置を有し、前記画像表示領域の中で該ポインティング装置を操作することにより、所定の調整機能が作動するように構成され、かつ、前記画像表示領域を2つ以上に分割し、分割されたそれぞれの領域上で、該ポインティング装置を操作することにより、異なる調整機能が作動するようにしたことを特徴とする、走査型電子顕微鏡および類似装置。

IPC (4件)：

H01J 37/22 502 , H01J 37/22 , H01J 37/153 , H01J 37/21

FI (5件)：

H01J 37/22 502 H , H01J 37/22 502 E , H01J 37/22 502 F , H01J 37/153 B , H01J 37/21 B

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