特許
J-GLOBAL ID：200903017550113517
プローブの校正方法および校正プログラム
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-309122
公開番号（公開出願番号）：特開2003-114117
出願日： 2001年10月04日
公開日（公表日）： 2003年04月18日
要約：
【要約】【課題】 プローブを交換あるいは姿勢を変更した後のプローブベクトルの高精度な校正方法を提供すること。【解決手段】 プローブの交換あるいは姿勢変更による更新を行う前の更新前プローブベクトルを用いて校正基準球を測定して測定値を得た後に、更新前プローブベクトルを用いて測定値を誤差補正して基準球中心座標を求め、プローブの更新前基準球中心座標との差を求めて推定プローブベクトルを算出し、この推定プローブベクトルを用いて校正基準球を測定する校正測定パートプログラムを作成すると共にこの校正測定パートプログラムを実行して校正測定を行ない、その結果からプローブベクトルの校正値を算出する。
請求項（抜粋）：
被測定物を測定するプローブを交換あるいは姿勢変更による更新を行った後に、前記プローブの測定子のオフセットを示すプローブベクトルを校正するプローブの校正方法において、前記更新前のプローブベクトルを用いて校正基準を測定して測定値を得る予備測定ステップと、前記予備測定ステップで得た前記測定値と、前記プローブの更新前のプローブベクトルを用いて誤差補正変換を行ない、その結果からプローブベクトルを推定するプローブベクトル推定ステップと、前記推定プローブベクトルを用いて前記校正基準を測定するパートプログラムを作成すると共に該パートプログラムを実行して校正測定を行う校正測定ステップと、前記校正測定ステップにおける測定結果から、前記プローブベクトルの校正値を算出するプローブベクトル校正ステップと、を備えることを特徴とするプローブの校正方法。
Fターム (9件)：
2F069AA51
, 2F069AA61
, 2F069EE01
, 2F069EE23
, 2F069FF01
, 2F069GG01
, 2F069LL02
, 2F069MM32
, 2F069NN00
