特許
J-GLOBAL ID：200903017556268202

真空熱処理炉用温度測定装置

発明者：
中沢 哲男

中沢 哲男 について

, 
八木 靖司

八木 靖司 について


出願人/特許権者：
東京エレクトロン株式会社

東京エレクトロン株式会社 について

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東京エレクトロン東北株式会社

東京エレクトロン東北株式会社 について

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日本フエンオール株式会社

日本フエンオール株式会社 について


代理人 (1件)： 金坂 憲幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-082401
公開番号（公開出願番号）：特開平7-273050
出願日： 1994年03月29日
公開日（公表日）： 1995年10月20日
要約：
【要約】【目的】 真空熱処理炉のポートを利用して炉内の真空を保持したまま被測定部の温度を直接測定することを可能とする。【構成】 真空熱処理炉1のポート13に気密に且つ着脱可能に装着される装着体25と、この装着体25に気密に挿通され、前記真空熱処理炉1内の被測定部に接触させてその温度を測定するシース熱電対26とを備えている。従って、真空熱処理炉の既設のポートを利用して炉内の真空を保持したまま被測定部の温度を直接測定することが可能となる。
請求項（抜粋）：
真空熱処理炉のポートに気密に且つ着脱可能に装着される装着体と、この装着体に気密に挿通され、前記真空熱処理炉内の被測定部に接触させてその温度を測定するシース熱電対とを備えたことを特徴とする真空熱処理炉用温度測定装置。
IPC (2件)：
H01L 21/205 ,  G01K 7/02
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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