特許

J-GLOBAL ID：200903017565814732

ウェーハ容器緩衝体

発明者： 渡辺 数義 ,  池田 紀子
出願人/特許権者： 鐘淵化学工業株式会社
代理人 (1件)： 柳野 隆生
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-332851
公開番号（公開出願番号）：特開2004-168324
出願日： 2002年11月15日
公開日（公表日）： 2004年06月17日
要約：

【課題】緩衝性能を十分に確保しつつ、上下方向に小型に構成可能なウェーハ容器緩衝体を提供する。【解決手段】複数枚の半導体ウェーハを収納したウェーハ容器4を外装箱5内に収容するに際して、外装箱5とウェーハ容器4間においてウェーハ容器4の上下に配置される1組の発泡樹脂製の緩衝体1、2であって、これら1組の発泡樹脂製緩衝体1、2のベース部21、41に外装箱5内で外装箱5の底および天井に当接する緩衝突起29を突出状に設け、この緩衝突起29を閉じた環状に形成した。【選択図】 図4

請求項（抜粋）：

複数枚の半導体ウェーハを収納したウェーハ容器を外装箱内に収容するに際して、外装箱とウェーハ容器間においてウェーハ容器の上下に配置される1組の発泡樹脂製の緩衝体であって、これら1組の発泡樹脂製緩衝体のベース部に外装箱内で外装箱の底および天井に当接する緩衝突起を突出状に設け、この緩衝突起を閉じた環状に形成したことを特徴するウェーハ容器緩衝体。

IPC (4件)：

B65D81/113 ,  B65D5/50 ,  B65D85/86 ,  H01L21/68

FI (4件)：

B65D81/06 102A ,  B65D5/50 101A ,  H01L21/68 T ,  B65D85/38 R

Fターム (52件)：

3E060AA03 ,  3E060AB05 ,  3E060BA03 ,  3E060BC02 ,  3E060CC12 ,  3E060CC19 ,  3E060CC62 ,  3E060DA26 ,  3E060DA30 ,  3E060EA06 ,  3E060EA20 ,  3E066AA03 ,  3E066BA01 ,  3E066CA01 ,  3E066DA01 ,  3E066FA03 ,  3E066HA01 ,  3E066JA03 ,  3E066KA08 ,  3E066MA01 ,  3E066MA09 ,  3E066NA43 ,  3E096AA06 ,  3E096AA13 ,  3E096BA16 ,  3E096BB04 ,  3E096CA02 ,  3E096CA08 ,  3E096CA09 ,  3E096CB03 ,  3E096CC01 ,  3E096CC02 ,  3E096DA04 ,  3E096DA05 ,  3E096DA08 ,  3E096DA23 ,  3E096DA25 ,  3E096DB01 ,  3E096DB08 ,  3E096DC04 ,  3E096EA01X ,  3E096EA02X ,  3E096EA02Y ,  3E096EA03Y ,  3E096FA09 ,  3E096FA10 ,  3E096GA11 ,  3E096GA13 ,  5F031CA02 ,  5F031DA19 ,  5F031EA02 ,  5F031EA10

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 容器の緩衝体
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-354804   出願人：信越ポリマー株式会社