特許
J-GLOBAL ID：200903017571975845
光投射システムで用いるM×N個の薄膜アクチュエーテッドミラーアレイ及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉村 暁秀 (外1名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-514353
公開番号（公開出願番号）：特表平9-505157
出願日： 1994年11月15日
公開日（公表日）： 1997年05月20日
要約：
【要約】本発明は、光投射システムに用いられるM×N個の薄膜アクチュエーテッドミラーアレイに関するものであって、能動マトリックス(52)と、各々が少なくとも、電気的に変形可能な物質から成る薄膜層(67)と、この薄膜層(67)の上下面にそれぞれ設けられる一対の電極(70)及び(71)とを含み、第1駆動部分62a及び第2駆動部分62bを有するM×N個の薄膜駆動構造体(54)のアレイ(53)と、各薄膜駆動構造体(54)を支持すると共に、この薄膜駆動構造体(54)と能動マトリック(52)とを電気的に接続するM×N個の支持部材(56)のアレイ(55)と、第1部分(78)、第2部分(79)及びそれらの間の中央部分(80)に分けられ、光ビームを反射するミラー(75)を有し、各駆動構造体(54)における第1駆動部分62a及び第2駆動部分62bの両方が電気信号に応じて変形する時、対応するミラー層(58)の中央部分(80)は平面状に維持されながら傾いてその全体が光ビームが反射して全体的な光効率が増大するように、各ミラー層(58)の第1部分(78)は各駆動構造体(54)の第1駆動部分の上側に、第2部分(80)は各駆動構造体(54)の第2駆動部分の上側にそれぞれ固定されるM×N個のミラー層(58)のアレイ(57)とを含む。
請求項（抜粋）：
光投射システムに用いられるM×N個の薄膜アクチュエーテッドミラーアレイ(M及びNは正の整数)であって、 基板、M×N個のトランジスタのアレイ、及びM×N個の接続端子のアレイを有する能動マトリックスと、 各々が同一の構造を有し、上側面及び下側面、近位の部分及び遠位の部分を有し、各々が少なくとも、上側面及び下側面を有し電気的に変形可能な物質から成る薄膜層と、各々が前記薄膜層の上側面に位置する第1電極と、前記薄膜層の下側面に位置する第2電極とを含み、電気信号が前記第1電極と前記第2電極との間に設けられた前記薄膜層の両端に印加される場合、前記薄膜層と共に変形する第1駆動部分及び第2駆動部分を有するM×N個の薄膜駆動構造体のアレイと、 上側面及び下側面を有し、前記薄膜駆動構造体の各々を支持すると共に、前記各薄膜駆動構造体と前記能動マトリックとを電気的に接続するM×N個の支持部材のアレイと、 第1部分、第2部分及びこれらの間の中央部分を含み、光ビームを反射するためのミラー及び支持層を有し、前記各駆動構造体における前記第1駆動部分及び前記第2駆動部分の両方が前記電気信号に応じて変形する際、対応する前記ミラー層の前記中央部分は平面性を維持しながら傾き、前記中央部分全体が光ビームを反射して全体的な光効率が増大するように、前記各ミラー層の前記第1部分は前記各駆動構造体の前記第1駆動部分の上側に、前記第2部分は前記各駆動構造体の前記第2駆動部分の上側にそれぞれ固定されるM×N個のミラー層のアレイとを含むことを特徴とするM×N個の薄膜アクチュエーテッドミラーアレイ。
IPC (4件)：
G02B 7/198
, G02B 7/185
, G03B 21/28
, H04N 5/74
G02B 7/18 B
, G03B 21/28
, H04N 5/74 B
, G02B 7/18 701
