特許
J-GLOBAL ID：200903017573806960
欠陥検出方法及びその装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-208813
公開番号（公開出願番号）：特開平10-096613
出願日： 1990年11月28日
公開日（公表日）： 1998年04月14日
要約：
【要約】【課題】同一形状のパターンを、検出画素サイズ以下の精度で位置合せが行えるようにして、画像検出時の検出誤差の影響を低減した状態でパターンの欠陥を検出する。【解決手段】基板の表面に形成された繰り返しパターンを前記基板を載置するXYテーブルの走査と同期させて撮像して第1の画像を得、この第1の画像を記憶手段に記憶し、繰り返しパターンのうちの第2のパターンを撮像して第2の画像を得、第2の画像を記憶手段に記憶させると共に記憶手段に記憶させた第1のパターンの画像を取り出し、この取り出した第1のパターンの画像と第2のパターンの画像とを画素単位以下の精度で位置合せし、二つのパターンの画像のずれ量に基づいてパターンの欠陥を検出し、この検出した欠陥に関する情報を画面上に表示する。
請求項（抜粋）：
基板の表面に形成された繰り返しパターンを前記基板を載置するXYテーブルの走査と同期させて撮像手段で撮像して第1の画像を得、該第1の画像を記憶手段に記憶し、前記繰り返しパターンのうちの第2のパターンを前記XYテーブルの走査と同期させて前記撮像手段で撮像して第2の画像を得、該第2の画像を前記記憶手段に記憶させると共に前記記憶手段に記憶させた前記第1のパターンの画像を取り出し、該取り出した第1のパターンの画像と前記撮像手段で撮像して得た第2のパターンの画像とを画素単位以下の精度で位置合わせし、該画素単位以下の制度で位置合わせした二つのパターンの画像のずれ量に基づいて前記パターンの欠陥を検出し、該検出した欠陥に関する情報を画面上に表示することを特徴とする欠陥検出方法。
IPC (4件)：
G01B 11/24
, G01N 21/88
, G06T 7/00
, H01L 21/66
G01B 11/24 F
, G01B 11/24 K
, G01N 21/88 E
, G01N 21/88 J
, H01L 21/66 J
, G06F 15/62 405 C
, G06F 15/70 455 B
