特許

J-GLOBAL ID：200903017576691837

金属ケイ素粉末の熱処理装置及び該装置を用いた熱処理方法

発明者： 福岡 宏文 ,  渡辺 真樹 ,  紺谷 義治
出願人/特許権者： 信越化学工業株式会社
代理人 (1件)： 山本 亮一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-202879
公開番号（公開出願番号）：特開平11-050101
出願日： 1997年07月29日
公開日（公表日）： 1999年02月23日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 熱処理装置のマッフルの耐久性を向上させ、金属ケイ素粉末を安定的かつ効率的に熱処理する。【解決手段】 炭化ケイ素の膜で表面を被覆した黒鉛材からなるマッフルを配設する。

請求項（抜粋）：

加熱ヒーターとマッフルを備えた金属ケイ素粉末の熱処理装置において、マッフルが、炭化ケイ素の膜で表面を被覆した黒鉛材からなることを特徴とする金属ケイ素粉末の熱処理装置。

IPC (3件)：

B22F 1/00 ,  C23C 30/00 ,  F27B 5/10

FI (3件)：

B22F 1/00 C ,  C23C 30/00 C ,  F27B 5/10