新規カルバゾール誘導体および化学増幅型感放射線性樹脂組成物

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：福沢俊明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-061922
公開番号（公開出願番号）：特開2002-265446
出願日： 2001年03月06日
公開日（公表日）： 2002年09月18日
要約：

【要約】【課題】化学増幅型レジストに対する増感成分として極めて有用な新規カルバゾール誘導体、および該カルバゾール誘導体を含有し、解像度、パターン形状、PED安定性等のレジストとしての基本性能を損なうことなく、特に高感度である感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】カルバゾール誘導体は、下記一般式(1)で表される。【化1】〔一般式(1)において、R1 およびR2 は水素原子または1価の有機基を示すか、あるいはR1 とR2 が相互に連結して3〜8員環の炭素環構造または3〜8員環の複素環構造を有する2価の有機基を形成しており、R3 は水素原子または1価の有機基を示す。〕化学増幅型感放射線性樹脂組成物は、該カルバゾール誘導体を含有することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

下記一般式(1)で表されるカルバゾール誘導体。【化1】〔一般式(1)において、R1 およびR2 は相互に独立に水素原子または1価の有機基を示すか、あるいはR1 とR2 が相互に連結してそれらが結合している式中の炭素原子と共に、3〜8員環の炭素環構造または3〜8員環の複素環構造を有する2価の有機基を形成しており、R3 は水素原子または1価の有機基を示す。〕

IPC (4件)：

C07D209/86 , G03F 7/004 503 , G03F 7/039 601 , H01L 21/027

FI (4件)：

C07D209/86 , G03F 7/004 503 , G03F 7/039 601 , H01L 21/30 502 R

Fターム (20件)：

2H025AA01 , 2H025AA02 , 2H025AA03 , 2H025AA11 , 2H025AB16 , 2H025AC04 , 2H025AC08 , 2H025AD03 , 2H025BE00 , 2H025BE10 , 2H025BG00 , 2H025CC20 , 2H025FA17 , 4C204BB05 , 4C204BB09 , 4C204CB25 , 4C204DB01 , 4C204EB01 , 4C204FB23 , 4C204GB01

引用特許：

出願人引用 (5件)

特開昭58-011933
特開平3-251565
特開昭57-212457

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審査官引用 (11件)

特開昭58-011933
特開昭58-011933
特開昭58-011933

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引用文献：

出願人引用 (8件)

Chemical Abstracts,vol.117,abs.no.191626
Chemical Abstracts,vol.81,abs.no.14054
Chemical Abstracts,vol.121,abs.no.255584

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審査官引用 (24件)

Chemical Abstracts,vol.117,abs.no.191626
Chemical Abstracts,vol.117,abs.no.191626
Chemical Abstracts,vol.117,abs.no.191626

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