特許
J-GLOBAL ID：200903017580496429
欠陥検査方法とその装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石原 勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-102755
公開番号（公開出願番号）：特開平8-297020
出願日： 1995年04月26日
公開日（公表日）： 1996年11月12日
要約：
【要約】【目的】 検査対象物の表面に規則的な模様があっても、表面の傷、打痕、汚れ等の欠陥を誤判定無く、高信頼性で検査する欠陥検査装置の提供。【構成】 小領域分割制御手段10と、同時生起行列の変位δ=(r,θ)を種々設定する変位変数制御手段11と、変位δだけ離れた2点の画像濃度が夫々i、jである度数を小領域内全画素についてカウントし同時生起行列を作成する同時生起行列作成手段12と、同時生起行列の規則性特徴量を算出する規則性特徴量算出手段13と、変位-規則性特徴量パターンを作成する変位-規則性特徴量パターン作成手段14と、良品変位-規則性特徴量パターンを記憶する良品変位-規則性特徴量パターン記憶手段15と、良品と検査対象物との変位-規則性特徴量パターンを比較する変位-規則性特徴量パターン比較手段16とを有する。
請求項（抜粋）：
対象物を撮像して映像信号を出力し、前記映像信号をデジタル化して画像データとし、前記画像データの処理エリアを小領域に分割し、同時生起行列の作成に使用する変位δ=(r,θ)を所定範囲内で種々設定し、前記分割した各小領域内で前記の設定した各変位毎に、その変位だけ離れた2点の画像濃度が夫々i、jである度数をその小領域内全画素についてカウントし、そのカウント数から各要素(i,j)を構成して各変位毎に同時生起行列を作成し、前記各同時生起行列毎にその要素から規則性特徴量を算出し、前記の各変位とその変位の同時生起行列について算出された前記規則性特徴量とから変位-規則性特徴量パターンを作成し、良品についての変位-規則性特徴量パターンを前記に準じて予め作成し記憶しておき、前記の記憶している良品の変位-規則性特徴量パターンと検査対象物から得られた変位-規則性特徴量パターンとを比較して検査対象物の欠陥を検出することを特徴とする欠陥検査方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01B 11/30 G
, H05K 13/08 D
