電子放出素子及びこれを用いた平面ディスプレイ装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-000725
公開番号（公開出願番号）：特開平6-203743
出願日： 1993年01月06日
公開日（公表日）： 1994年07月22日
要約：

【要約】【目的】多くの電極を形成できエミッション電流の値が高い電子放出素子を提供することにある。【構成】導電性の薄膜に突起電極を形成し、この突起電極に電界を作用させて突起電極から電子を放出する電子放出素子において、Si基板1に第一の導電性薄膜2を形成し、この第一の導電性薄膜2に絶縁性薄膜3及び第二の導電性薄膜4を積層し、第二の導電性薄膜4に分割溝6を形成して第二の導電性薄膜4を内側の部分7と外側の部分8とに分割し、内側の部分7と外側の部分8との互いに対向する縁部に突起電極10...、11...をそれぞれ複数形成するとともに、内側の部分7にコンタクトホ-ル9を形成して内側の部分7を第一の導電性薄膜2に接続し、内側の部分7の突起電極10...と外側の部分8の突起電極11...とから選択的に電子を放出する。

請求項（抜粋）：

導電性の薄膜に突起電極を形成し、この突起電極に電界を作用させて上記突起電極から電子を放出する電子放出素子において、絶縁性基板に第一の導電性薄膜を形成し、この第一の導電性薄膜に絶縁性薄膜及び第二の導電性薄膜を積層し、上記第二の導電性薄膜に分割溝を形成して上記第二の導電性薄膜を内側の部分と外側の部分とに分割し、上記内側の部分と上記外側の部分との互いに対向する縁部に突起電極をそれぞれ複数形成するとともに、上記内側の部分にコンタクトホ-ルを形成して上記内側の部分を上記第一の導電性薄膜に接続し、上記内側の部分の突起電極と上記外側の部分の突起電極とから選択的に電子を放出することを特徴とする電子放出素子。

IPC (2件)：

H01J 1/30 , H01J 31/12

引用特許：

出願人引用 (4件)

特開平2-223141
特開平4-022038
特開平2-223141

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審査官引用 (4件)

特開平2-223141
特開平2-223141
特開平4-022038

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