特許
J-GLOBAL ID：200903017587461647
格子投影型モアレ装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
川野 宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-426149
公開番号（公開出願番号）：特開2005-181243
出願日： 2003年12月24日
公開日（公表日）： 2005年07月07日
要約：
【目的】投影格子および観測用基準格子間の位相差を変化させる第1の移動ステージと、両格子を一体的に光軸に対して移動させる第2の移動ステージとを備えることにより、格子ピッチを粗く設定した場合においても、不要縞を除去しつつリンジスキャン測定を行なえるようにする。【解決手段】第1の移動ステージ50は、投影格子40を支持した可動板51を支持板53に対して移動させることにより、投影格子40を観測用基準格子46に対して相対的に移動させる。第2の移動ステージ60は、第1の移動ステージ50および観測用基準格子46を支持した可動板61を支持板63に対して移動させることにより、投影格子40および観測用基準格子46を一体的に光軸に対して移動させる。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
被測定体上に投影格子の像を投影する投影光学系と、この投影により前記被測定体上に形成された変形格子像を観測用基準格子上に結像させる結像光学系と、この結像により形成されたモアレ縞の画像を取り込む撮像手段とを備えた格子投影型モアレ装置において、
前記投影格子および前記観測用基準格子のいずれか一方の格子を、前記結像光学系の光軸に垂直な面内において他方の格子に対して、これら両格子間の位相差を変化させる方向に移動可能に支持する第1の移動ステージと、
前記第1の移動ステージおよび前記他方の格子を、前記光軸に対して前記方向に移動可能に支持する第2の移動ステージと、
前記第1および第2の移動ステージの駆動を制御する移動制御手段とを備えてなることを特徴とする格子投影型モアレ装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (15件)：
2F065AA51
, 2F065CC16
, 2F065FF04
, 2F065FF06
, 2F065HH07
, 2F065HH12
, 2F065JJ09
, 2F065JJ26
, 2F065LL21
, 2F065LL41
, 2F065MM11
, 2F065QQ24
, 2F065QQ31
, 2F065RR08
, 2F065SS02
