特許

J-GLOBAL ID：200903017588750081

基板の研削装置

発明者： 井出 悟
出願人/特許権者： 株式会社岡本工作機械製作所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-141037
公開番号（公開出願番号）：特開2001-326196
出願日： 2000年05月15日
公開日（公表日）： 2001年11月22日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 表面に渦巻状の条痕が残らない基板を与える研削・ラップ装置の提供。【解決手段】 基板収納カセット3,4、基板搬送ロボット5、仮置台6、洗浄機構7、ロ-ディング/アンロ-ディングゾ-ンS1、第一研削ゾ-ンS2、第二研削ゾ-ンS3およびラップゾ-ンS4に区画振り分けされたインデックステ-ブル8、4基の基板チャック機構9a,9b,9c,9d、第一研削ゾ-ンに位置するカップホイ-ル型粗研削砥石を備えた第一研削手段11、第二研削ゾ-ンに位置するカップホイ-ル型中仕上研削砥石を備えた第二研削手段12およびラップゾ-ンに位置する揺動可能な軸に軸承された仕上用平砥石を備えるラップ手段13、チャック洗浄機構14、ドレッシング機構15、および前記仮置台上の基板をロ-ディング/アンロ-ディングゾ-ンに位置するチャック機構上に搬送する第二搬送手段16、を備える基板の研削装置。

請求項（抜粋）：

基板収納カセット、該収納カセットの前に配置された基板搬送ロボット、該搬送ロボットの左右に配置された仮置台と洗浄機構、前記搬送ロボットと仮置台とスピン洗浄機構の前に配置され、ロ-ディング/アンロ-ディングゾ-ン、第一研削ゾ-ン、第二研削ゾ-ンおよびラップゾ-ンに区画振り分けされたインデックステ-ブル、該インデックステ-ブルの回転軸に対し同一円周上にかつ90度の等間隔に設けられた水平方向に回動可能な4基の基板チャック機構、前記インデックステ-ブルの上方に設けられ、第一研削ゾ-ンに位置するチャック機構に対向して設けられたカップホイ-ル型粗研削砥石をスピンドル軸に備えた第一研削手段、第二研削ゾ-ンに位置するチャック機構に対向して設けられたカップホイ-ル型中仕上研削砥石をスピンドル軸に備えた第二研削手段およびラップゾ-ンに位置するチャック機構上の基板をラップ加工する揺動可能な軸に軸承された仕上用平砥石を備えるラップ手段、ロ-ディング/アンロ-ディングゾ-ンに位置するチャック機構を洗浄するチャック洗浄機構、ラップ手段の仕上用平砥石のドレッシング機構、および前記仮置台上の基板をロ-ディング/アンロ-ディングゾ-ンに位置するチャック機構上に搬送する第二搬送手段、を備える基板の研削装置。

IPC (2件)：

H01L 21/304 621 ,  B24B 37/04

FI (2件)：

H01L 21/304 621 C ,  B24B 37/04 Z

Fターム (11件)：

3C058AA04 ,  3C058AA07 ,  3C058AA11 ,  3C058AA13 ,  3C058AA16 ,  3C058AA18 ,  3C058AB01 ,  3C058AB03 ,  3C058AB06 ,  3C058CB01 ,  3C058DA17