特許

J-GLOBAL ID：200903017588895144

切削機における被加工物位置合わせ方法

発明者： 上野 剛
出願人/特許権者： 株式会社ディスコ
代理人 (1件)： 小野 尚純
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-344118
公開番号（公開出願番号）：特開2003-151920
出願日： 2001年11月09日
公開日（公表日）： 2003年05月23日
要約：

【要約】【課題】 半導体ウエーハ(98)の如き被加工物(90)における従来の位置合わせ方法には、被加工物の傾斜角度を検出するためにチャック手段(8)をX軸方向に移動せしめることが必要であることに起因して比較的長時間を要する、という問題が存在する。【解決手段】 一対の撮像手段(60a、60b)の各々が被加工物の表面におけるY軸方向に離隔した2個の特定矩形領域(110a、110b)の各々の少なくとも一部の画像を夫々撮像する状態に、一対の切削手段(28a、28b)に対してチャック手段を相対的に位置せしめる。一対の撮像手段の各々が撮像する画像を画像処理手段によって処理して、特定矩形領域の各々の特定部位(112a、112b)のX軸及びY軸における位置を検出する。特定矩形領域の各々の特定部位のX軸及びY軸における位置に基づいて、X軸及びY軸に対するストリート(100a、100b)の傾斜角度θを算出する。

請求項（抜粋）：

X軸方向に移動自在に且つZ軸方向に延びる中心軸線を中心として回転自在に装着されたチャック手段と、Y軸方向に間隔をおいて且つY軸方向に移動自在に装着された一対の切削手段と、該一対の切削手段の各々に夫々付設された一対の撮像手段と、画像処理手段と、演算手段とを備えた切削機において、表面には格子状に配列されたストリートによって複数個の矩形領域が規定されている被加工物を該チャック手段上に保持した後に、該チャック手段をX軸方向に移動せしめながら該一対の切削手段を該被加工物に作用せしめて該被加工物を該ストリートに沿って切削するのに先立って、該チャック手段上に保持された該被加工物の該ストリートを該一対の切削手段に対して相対的に位置合わせする方法にして、該一対の撮像手段の各々が該被加工物の表面におけるY軸方向に離隔した2個の特定矩形領域の各々の少なくとも一部の画像を夫々撮像する状態に、該一対の切削手段に対して該チャック手段を相対的に位置せしめること、該一対の撮像手段の各々が撮像する画像を該画像処理手段によって処理して、該特定矩形領域の各々の特定部位のX軸及びY軸における位置を検出すること、該特定矩形領域の各々の特定部位のX軸及びY軸における位置に基づいて、X軸及びY軸に対する該ストリートの傾斜角度θを算出すること、該チャック手段を該傾斜角度θだけ回転せしめて、X軸及びY軸に対する該ストリートの傾斜を解消すること、を含むことを特徴とする位置合わせ方法。

IPC (2件)：

H01L 21/301 ,  G01B 11/00

FI (2件)：

G01B 11/00 H ,  H01L 21/78 C

Fターム (15件)：

2F065AA03 ,  2F065AA31 ,  2F065CC19 ,  2F065DD06 ,  2F065FF04 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065MM03 ,  2F065MM04 ,  2F065PP12 ,  2F065PP24 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ31 ,  2F065QQ38

引用特許：

審査官引用 (3件)

• アライメント方法及びその装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-330540   出願人：株式会社東京精密
• アライメント方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-269462   出願人：株式会社ディスコ
• 切削装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-113489   出願人：株式会社ディスコ