特許
J-GLOBAL ID：200903017593454989

非球状シリカゾル、その製造方法および研磨用組成物

発明者：
西田 広泰

西田 広泰 について

, 
中山 和洋

中山 和洋 について


出願人/特許権者：
日揮触媒化成株式会社

日揮触媒化成株式会社 について


代理人 (3件)： 鈴木 俊一郎 ,  牧村 浩次 ,  高畑 ちより
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-286618
公開番号（公開出願番号）：特開2009-149493
出願日： 2008年11月07日
公開日（公表日）： 2009年07月09日
要約：
【解決手段】動的光散乱法により測定される平均粒子径が3〜150nmの範囲、短径/長径比が0.01〜0.8の範囲、比表面積が10〜800m2/gの範囲にあり、表面に複数の疣状突起を有する非球状シリカ微粒子が分散媒に分散してなる非球状シリカゾルおよびその製造方法。【効果】本発明に係る非球状シリカゾルに含まれる非球状シリカ微粒子は、通常の非球状シリカ微粒子とは異なる特異な構造を有することから、本発明に係る非球状シリカゾルは、複合ゾル、充填性、吸油性、電気特性、光学特性あるいは物理特性に優れ、たとえば研磨材および研磨用組成物として有用であり、特に研磨特性の効果において優れる。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
動的光散乱法により測定される平均粒子径が3〜200nmの範囲、短径/長径比が0.01〜0.8の範囲、比表面積が10〜800m2/gの範囲にあり、表面に複数の疣 状突起を有する非球状シリカ微粒子が分散媒に分散してなることを特徴とする非球状シリカゾル。
IPC (4件)：
C01B 33/14 ,  C09K 3/14 ,  H01L 21/304 ,  B24B 37/00
FI (5件)：
C01B33/14 ,  C09K3/14 550D ,  H01L21/304 622D ,  H01L21/304 622B ,  B24B37/00 H
Fターム (21件)：
3C058AA07 ,  3C058CB01 ,  3C058DA02 ,  3C058DA17 ,  4G072AA28 ,  4G072BB20 ,  4G072CC02 ,  4G072DD06 ,  4G072DD07 ,  4G072DD08 ,  4G072EE01 ,  4G072EE07 ,  4G072GG02 ,  4G072GG03 ,  4G072HH18 ,  4G072HH30 ,  4G072PP01 ,  4G072RR12 ,  4G072TT02 ,  4G072TT06 ,  4G072UU30
引用特許：
出願人引用 (18件)
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審査官引用 (8件)
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