特許

J-GLOBAL ID：200903017594454206

ファイバ製プローブ素子

発明者： ハーシェル マクリン マーチマン
出願人/特許権者： エイ・ティ・アンド・ティ・コーポレーション
代理人 (1件)： 三俣 弘文
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-185132
公開番号（公開出願番号）：特開平7-151769
出願日： 1994年07月15日
公開日（公表日）： 1995年06月16日
要約：

【要約】【目的】 光ファイバプローブの製造方法を提供することである。【構成】 本発明におけるファイバ製プローブ素子は、厚肉上部領域43、44と、この領域から延びるテーパー状領域42と、このテーパー状領域からさらに延びる薄い肉厚領域とからなり、その底部は、軸方向に直交する面で平面状で終端する。本発明の製造方法は、(a)円柱状の光ファイバセグメントを用意するステップと、(b)前記光ファイバセグメントの低部領域を第1所定時間エッチングするステップと(c)前記光ファイバセグメントの低部領域の先端をクリーブ(へき開)するステップと、(d)前記(c)ステップの後、前記低部領域を第2所定時間エッチングするステップとを有し、前記低部領域の幅は、これにより所定値に減少し、前記上部領域の幅は変化しないことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

厚肉上部領域(43、44)と、この領域から延びるテーパー状領域(42)と、このテーパー状領域からさらに延びる薄い肉厚領域(41)とからなるファイバ製プローブ素子において前記薄肉低部領域(41)は、その最大幅が、約0.01μm〜150μmの範囲を有し、その底部は、ファイバの軸方向に直交する面で平面状で終端することを特徴とするファイバ製プローブ素子。