特許
J-GLOBAL ID：200903017605134845
弾性波装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (7件)：
曾我 道照
, 曾我 道治
, 池谷 豊
, 古川 秀利
, 鈴木 憲七
, 梶並 順
, 白石 泰三
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2000008427
公開番号（公開出願番号）：WO2002-045262
出願日： 2000年11月29日
公開日（公表日）： 2002年06月06日
要約：
圧電基板1上に、導体からなるすだれ状電極4、5を含む電極を形成した弾性波装置において、上記すだれ状電極4、5および反射器9上に酸化シリコンを主成分とする誘電体薄膜8を堆積させるものであって、この誘電体薄膜8の厚さを適切に設定したものである。そして、誘電体薄膜8の厚さを適切に設定することにより、微細な金属屑から電極を保護し、また、外部からの影響を回避するためにパッケージ内に気密封止することを必要としない弾性波装置を得ることができる。
請求項（抜粋）：
圧電基板上に、導体からなるすだれ状電極を含む電極を形成した弾性波装置において、前記すだれ状電極上に、厚みが100から1000Åの酸化シリコンを主成分とする誘電体薄膜を有する弾性波装置。
IPC (4件)：
H03H9/145
, H01L41/09
, H01L41/18
, H03H3/08
H03H9/145 C
, H03H3/08
, H01L41/08 C
, H01L41/18 101A
, H01L41/18 101Z
