共焦点光スキャナ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：渡辺正康
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-209513
公開番号（公開出願番号）：特開平10-048530
出願日： 1996年08月08日
公開日（公表日）： 1998年02月20日
要約：

【要約】【課題】利用できる光の効率を向上させ、高速走査が可能な共焦点光スキャナを実現する。【解決手段】複数の集光手段を有する円板及び集光手段と同一パターンの複数の開孔を有する円板を同期して回転させ集光手段及び開孔を通過した光を集光して試料を走査する共焦点光スキャナにおいて、開孔としてスリットが設けられた円板と、集光手段としてスリットと同一形状のシリンドリカル・マイクロレンズが形成された円板とを設ける。

請求項（抜粋）：

複数の集光手段を有する円板及び前記集光手段と同一パターンの複数の開孔を有する円板を同期して回転させ前記集光手段及び前記開孔を通過した光を集光して試料を走査する共焦点光スキャナにおいて、前記開孔としてスリットが設けられた円板と、前記集光手段として前記スリットと同一形状のシリンドリカル・マイクロレンズが形成された円板と、を備えたことを特徴とする共焦点光スキャナ。

IPC (2件)：

G02B 21/00 , G02B 26/10 107

FI (2件)：

G02B 21/00 , G02B 26/10 107

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