特許

J-GLOBAL ID：200903017613994985

基板検査装置

発明者： 河崎 外喜雄
出願人/特許権者： 日東精工株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-319201
公開番号（公開出願番号）：特開平6-129831
出願日： 1992年10月14日
公開日（公表日）： 1994年05月13日
要約：

【要約】【目的】 基板に印刷された回路パターンの位置ずれに応じて検査ユニットを自動的に位置決めする基板検査装置を提供する。【構成】 XY平面上およびXY平面と平行な回転方向の位置決め機構に検査ユニット8を昇降自在に設け、検査ユニット8の側方にCCDカメラ6を取付ける。CCDカメラ6、検査ユニット8それぞれの下方で停止するワーク移載台41を配置し、CCDカメラ6により検出される基板上の2個のマークの位置情報から回路パターンの位置ずれおよび傾きを算出し、検査ユニット8を位置決めしてその姿勢を回路パターンに沿って変化させるように構成されている。【効果】 基板上の回路パターンの位置ずれに拘わらず、所定の検査を確実に行うことができ、不良検出の工程を自動化、高速化することができる。

請求項（抜粋）：

回路パターンの姿勢を示すマークを持つ基板が載置されるワーク移載台を水平方向に往復移動させる移動手段を配置するとともに、このワーク移載台の移動路の上方に位置して、ワーク移載台上の基板のマークの位置を検出するCCDカメラを配置し、さらに、前記CCDカメラから水平方向に所定距離離れた位置で、ワーク移載台の移動路の上方に位置して、所定検査を行う検査ユニットのプローブピンをXY平面上で移動させかつθ方向に回転させる位置決め機構を昇降するように配置する一方、前記CCDカメラにより検出される少なくとも2個のマークの位置から回路パターンの位置ずれ量および傾き量を算出する演算部を持ち、ワーク移載台が位置決め機構の下方に位置すると前記位置ずれ量および傾き量に応じて位置決め機構を作動させる制御部を設けたことを特徴とする基板検査装置。

IPC (3件)：

G01B 11/24 ,  G01B 11/00 ,  G01R 31/02

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭63-244855
  
• 特開平2-220498
  
• 特開平4-239148