基板処理装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：赤澤日出夫 , ▲橋▼場満枝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-084513
公開番号（公開出願番号）：特開2007-258632
出願日： 2006年03月27日
公開日（公表日）： 2007年10月04日
要約：

【課題】外乱の影響を受けないデータで比較することにより、装置の健全性を確認する。【解決手段】時系列的な複数のステップを経ることにより基板15に所定の処理を施す基板処理装置11であって、各ステップにおいて収集したデータを所定の条件に基づいて分割する分割手段と、分割したデータを積分した値を算出する積分手段と、積分値と予め設定した基準値とを比較する比較手段と、を有する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

時系列的な複数のステップを経ることにより基板に所定の処理を施す基板処理装置であって、前記各ステップにおいて収集したデータを所定の条件に基づいて分割する分割手段と、前記分割したデータの積分した値を算出する積分手段と、前記積分値と予め設定した基準値とを比較する比較手段と、を有する基板処理装置。

IPC (1件)：

H01L 21/02

FI (1件)：

H01L21/02 Z

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