特許
J-GLOBAL ID:200903017617468110
試料のイオン化装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
野口 繁雄
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-158669
公開番号(公開出願番号):特開平8-327601
出願日: 1995年05月31日
公開日(公表日): 1996年12月13日
要約:
【要約】【目的】 金属線ヒータから放出される熱電子などの影響を防ぐ。【構成】 真空ハウジング11内に微小径のオリフィス1aをもつノズル1の先端部が突出し、ノズル1からの噴出ガスの噴流中には傾斜した電極部4が配置され、電極部4にガス状分子が衝突して発生したイオンを受けるコレクタ5が配置されている。ノズル先端部2を加熱するために、電極部4の後側に赤外線光源6と、赤外線光源6からの赤外線をノズル先端部2に集光させる赤外反射鏡7が配置されている。真空ハウジング11を真空排気し、電極部4を所定の高温に維持し、赤外線光源6からの赤外線をノズル先端部2に集光してノズル先端部2を加熱しながら、ノズル1から試料成分をキャリアガスとともに導いてオリフィス1aから真空ハウジング11内に噴出させ、電極部4の表面に衝突させてイオン化する。
請求項(抜粋):
真空排気される真空ハウジングと、前記真空ハウジング内に位置する微小径のオリフィスを先端に有し、軽い気体のキャリアガスとともに導かれた試料成分ガスをキャリアガスとともにそのオリフィスから真空ハウジング内に噴出させるノズルと、前記オリフィスから噴出されるガスの噴流中に設けられ、通電により高温に加熱され、表面電離により噴流中の試料成分をイオン化する電極部と、前記真空ハウジング内にあって、前記電極部でイオン化された試料成分イオンを検出するコレクタと、前記真空ハウジング内にあって、赤外線ランプ及びその赤外線ランプからの赤外線を前記オリフィス部分に集光させる集光鏡を備えた赤外線照射部と、を備えたことを特徴とするイオン化装置。
IPC (4件):
G01N 27/62
, G01N 30/64
, G01N 30/72
, H01J 49/16
FI (5件):
G01N 27/62 G
, G01N 27/62 Z
, G01N 30/64 F
, G01N 30/72 F
, H01J 49/16
前のページに戻る