特許
J-GLOBAL ID：200903017617917578
突起電極およびその形成方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉村 次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-293157
公開番号（公開出願番号）：特開平10-125685
出願日： 1996年10月16日
公開日（公表日）： 1998年05月15日
要約：
【要約】【課題】 ファインピッチ化を図ることができるようにする。【解決手段】 突起電極は、核突起電極28と、この核突起電極28を等方的に覆う外殻突起電極31とからなっている。この場合、外殻突起電極31の厚さが核突起電極28の高さと等しくなっているので、全体の形状が柱状で上部が盛り上がった形状となり、従来のきのこ形状の突起電極と比較して横に張り出す部分がなく、ファインピッチ化を図ることができる。
請求項（抜粋）：
基板に形成された接続パッド上の所定の一部に形成された核突起電極と、該核突起電極の表面をほぼ一様の厚さで覆うように形成された外殻突起電極とからなることを特徴とする突起電極。
FI (2件)：
H01L 21/92 602 E
, H01L 21/92 604 B
