外観検査装置および外観検査方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：筒井大和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-152574
公開番号（公開出願番号）：特開2003-059991
出願日： 1990年08月29日
公開日（公表日）： 2003年02月28日
要約：

【要約】【課題】簡単かつ的確にしきい値の設定を行うことのできる外観検査技術を提供する。【解決手段】半導体ウェハの隣接する2つのチップに対し、撮像手段8により、まず左側のチップの画像信号を所定の検査幅で取り込み、これを信号処理回路9による処理加工の後、画像記憶部10へ格納する。次いで、同一の検査幅によって右側のチップを画像信号として撮像し、信号処理回路9によって信号処理した後、画像記憶部10へ格納することなく差分検出回路11へ送出する。差分検出回路11では、2つの画像信号を比較し、その差が一定以上であるときには、その差分信号としきい値レジスタ14の最適しきい値とに基づいて、欠陥判定部12によって欠陥を判定する。

請求項（抜粋）：

被検査物上の同一となるように形成された複数パターンの各画像を検出する手段と、検出した画像間の差分値、およびしきい値に基づいてパターンの欠陥を判定する手段とを備えた外観検査装置であって、被検査物上の複数点における画像間の差分値の標準偏差の情報を用いて、パターン寸法差のある正常部を欠陥として誤検出しないしきい値を決定する手段を備えていることを特徴とする外観検査装置。

IPC (3件)：

H01L 21/66 , G01B 11/24 , G01N 21/956

FI (4件)：

H01L 21/66 J , G01N 21/956 A , G01B 11/24 F , G01B 11/24 K

Fターム (30件)：

2F065AA56 , 2F065BB02 , 2F065CC19 , 2F065FF04 , 2F065JJ02 , 2F065JJ03 , 2F065JJ19 , 2F065JJ25 , 2F065PP12 , 2F065QQ03 , 2F065QQ08 , 2F065QQ24 , 2F065QQ25 , 2F065QQ29 , 2F065QQ42 , 2F065QQ43 , 2G051AA65 , 2G051AB02 , 2G051AC21 , 2G051CA04 , 2G051CB01 , 2G051CC11 , 2G051EA08 , 2G051EA11 , 2G051EB01 , 2G051EC06 , 4M106AA01 , 4M106BA04 , 4M106CA39 , 4M106DB21

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