特許
J-GLOBAL ID：200903017626604485
耐熱衝撃性のすぐれたスパッタリング焼結ターゲット材
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
富田 和夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-216971
公開番号（公開出願番号）：特開平7-054137
出願日： 1993年08月09日
公開日（公表日）： 1995年02月28日
要約：
【要約】【目的】 耐熱衝撃性にすぐれたスパッタリング焼結ターゲット材を提供する。【構成】 スパッタリング焼結ターゲット材が、BaTiO3 または(Ba,Sr)TiO3 の理論酸素含有量に比して1〜10%低い酸素含有量のBaTiO3-x または(Ba,Sr)TiO3-x からなる。
請求項（抜粋）：
BaとTiの複合酸化物で構成されたスパッタリング焼結ターゲット材において、前記BaとTiの複合酸化物における酸素含有量を、これの理論酸素含有量に比して1〜10%低い酸素含有量としたことを特徴とする耐熱衝撃性のすぐれたスパッタリング焼結ターゲット材。
IPC (3件)：
C23C 14/34
, C04B 35/46
, C23C 14/08
