特許

J-GLOBAL ID：200903017626617153

半導体ウエハの非接触電気測定用センサ

発明者： 河野 元宏 ,  坂井 高正
出願人/特許権者： 大日本スクリーン製造株式会社
代理人 (1件)： 五十嵐 孝雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-168488
公開番号（公開出願番号）：特開平5-335392
出願日： 1992年06月02日
公開日（公表日）： 1993年12月17日
要約：

【要約】【目的】 非接触で行なう半導体の電気測定に適した製作の容易なセンサを提供する【構成】 センサヘッドに用いる電極形成部64は、コーンガラス66の底面66aに電極パターン200を形成している。底面66aの中央はレーザ光を反射する反射面66cとなっており、反射面66cの周囲には、電気測定用電極201と3つの平行度調整用電極111〜113とが形成されている。また、これらの電極の間には、ガードリング120も形成されている。コーンガラス66の側斜面66bには配線が形成されており、この配線の端部付近において外部のリード線と接続される。コーンガラス66は互いに平行な2つの底面を有するので、フォトリソグラフィで底面66a上に電極パターンを容易に形成できる。

請求項（抜粋）：

半導体ウエハの表面との間にギャップを隔ててほぼ平行に保持される反射面を有し、該反射面で反射されるレーザ光の強度に基づいて前記ギャップを測定するとともに、前記半導体ウエハの電気特性の測定を行なう非接触電気測定用センサであって、前記反射面を含む第1の表面と、前記第1の表面とほぼ平行な第2の表面とを有する透光性部材と、前記第1の表面に形成された電気測定用電極と、を備えることを特徴とする非接触電気測定用センサ。

IPC (2件)：

H01L 21/66 ,  G01N 27/00

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平4-132236
  
• 特開昭63-111403
  
• 特開昭64-082541