投影露光装置およびパルス発光方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：永井冬紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-305782
公開番号（公開出願番号）：特開平11-145034
出願日： 1997年11月07日
公開日（公表日）： 1999年05月28日
要約：

【要約】【課題】投影露光装置のチャンバなどに配設されたドアなどが開かれたときに、このドアの開口から漏れ出る光が被曝放射限界を越さないようにして露光動作などの諸動作を安全に継続して行うことのできる投影露光装置等を提供する。【解決手段】レーザ発振器ELよりパルス状に出射されるレーザ光は管路S、ビーム整形光学系4、フライアイレンズ6、リレーレンズ11および13、コンデンサレンズ15などを経てレチクル16を照明する。投影光学系23によってレチクル16のパターンPAの像がウエハ25の表面に形成され、投影露光が行われる。制御部40はドアスイッチDSwからの信号を入力してチャンバ100などに配設されたドアの開かれたことを検知すると、レーザ発振器ELからパルス状に出射されるレーザ光の発光間隔を広げて減光する。これにより、ドアの開かれた開口部より漏れ出るレーザ光は被曝放射限界を越すことがなく、継続して投影露光の動作を行うことができる。

請求項（抜粋）：

所定のパターンが形成された原版を、パルス発光光源から出射される光により照明する照明光学系と、前記照明光学系で照明された前記原版のパターンを感光基板上に投影する投影光学系と、前記照明光学系および前記投影光学系を覆う筐体と、前記筐体に開閉可能に設置された蓋体とを備える投影露光装置において、前記蓋体の開閉を検知する検知手段と、前記検知手段が前記蓋体の開いたことを検知したときに、前記照明光学系による照明光量を減じる減光手段とを有することを特徴とする投影露光装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 , G03F 7/20 521

FI (2件)：

H01L 21/30 514 E , G03F 7/20 521

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