特許

J-GLOBAL ID：200903017632839176

パターン検査装置の検査性能評価方法及びそのための装置

発明者： 中山 保彦 ,  前田 俊二 ,  吉田 実 ,  窪田 仁志 ,  岡 健次 ,  牧平 担
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 武 顕次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-247913
公開番号（公開出願番号）：特開平9-089791
出願日： 1995年09月26日
公開日（公表日）： 1997年04月04日
要約：

【要約】【課題】 パターン検査装置における重要な種々の点検項目の基礎的条件を検出し補正することにより、常に最適の規定された状態に検査装置を管理すること。【解決手段】 被検査物の回路パタ-ンまたは配線パタ-ンの良否を判定する検査装置の検査性能評価方法において、光学系特性、アライメント特性、照度分布特性を評価するパタ-ンを有し且つ前記パタ-ンからの光量を検出する検出素子を有する検査性能評価検出器を被検査物載置用のステ-ジに設置し、複数の評価パタ-ンを光学的に検出できるようにステ-ジを順に移動し、その都度、評価パタ-ンによる結像されたパタ-ン像から光学系特性、アライメント特性の情報を得ると共に前記検出素子から照度分布特性の情報を得、これらの情報から検査装置のそれぞれの検査性能を評価し、この評価に基づき検査装置の検査性能を最適の規定された状態にそれぞれ補正すること。

請求項（抜粋）：

被検査物の回路パタ-ンまたは配線パタ-ンの良否を判定する検査装置の検査性能評価方法において、光学系特性、アライメント特性、照度分布特性を評価するパタ-ンを有し且つ前記パタ-ンからの光量を検出する検出素子を有する検査性能評価検出器を被検査物載置用のステ-ジに設置し、複数の評価パタ-ンを光学的に検出できるようにステ-ジを順に移動し、その都度、評価パタ-ンによる結像されたパタ-ン像から光学系特性、アライメント特性の情報を得ると共に前記検出素子から照度分布特性の情報を得、これらの情報から検査装置のそれぞれの検査性能を評価し、この評価に基づき検査装置の検査性能を最適の規定された状態にそれぞれ補正することを特徴とする検査装置の検査性能評価方法。

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平4-181251
  
• 特開平3-087013
  
• 特開昭58-086408